半導(dǎo)體行業(yè)在生產(chǎn)的時(shí)候需要大量的清洗水，隨著半導(dǎo)體工業(yè)的不斷發(fā)展，對清洗水的電導(dǎo)性、離子含量、TOC、DO、Particles要求也越來越嚴(yán)格。由于半導(dǎo)體用超純水對多項(xiàng)指標(biāo)的高要求，所以在半導(dǎo)體行業(yè)，超純水不同于其他行業(yè)對水的要求，半導(dǎo)體行業(yè)對超純水有嚴(yán)格的水質(zhì)要求。

　　在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，硼是P型雜質(zhì)，過量會使n型硅反型，對電子、空穴濃度有影響。因此在超純水行業(yè)中，要充分考慮硼的脫除。《Standard Guide for Ultra-Pure Water Used in the Electronics and Semiconductor Industries》(ASTM-D5127-13)標(biāo)準(zhǔn)中E1.3中要求硼離子≤0.05μg/L。如果硼離子含量能夠達(dá)到更低的指標(biāo)，勢必會提升半導(dǎo)體的性能。

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